東莞真空泵修理爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)開(kāi)展而研制的，它有如下一些特點(diǎn)：
　　1、與被抽氣體觸摸的表面防腐蝕耐磨損。
　　2、泵腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑劑，因而無(wú)返油現(xiàn)象發(fā)作。
　　3、抽氣原件為非觸摸式的可實(shí)現(xiàn)高速工作（3000r/min）。
　　4、電氣監(jiān)控與操作，主要有電源，遠(yuǎn)距離操作和開(kāi)關(guān)閥等的操控。
　　5、齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤(rùn)滑，上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤(rùn)滑。
　　6、在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng)，少數(shù)的顆粒物和液體等在重力效果下易于掃除。
　　7、該泵型式多樣，功能能夠擴(kuò)展，泵的主體，帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備，附件有進(jìn)口處防反流的閥門，出口處有截流閥，電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置。
　　8、進(jìn)口防返流閥能將被抽容器與泵腔間隔，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來(lái)，將泵通以凈化氣體，這些閥可主動(dòng)開(kāi)關(guān)，真空體系有可靠的維護(hù)，杜絕了向真空室的返流。
　　9、第二、三、四級(jí)均有凈化氣體進(jìn)口，以改善被抽介質(zhì)順利經(jīng)過(guò)泵腔，無(wú)此需要的能夠不用通凈化氣體，凈化氣體用三個(gè)流量計(jì)別離調(diào)理，相互都是獨(dú)立的，以保證節(jié)約惰性氣體，利用三個(gè)電磁閥可微調(diào)其流量。
　　當(dāng)泵出現(xiàn)毛病時(shí)泵能主動(dòng)泊車，兩個(gè)閥門一齊封閉或截流閥封閉。動(dòng)力和遙控有一臺(tái)變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，以滿足監(jiān)控過(guò)程的需要。
　　動(dòng)力電源、繼電器用以對(duì)馬達(dá)的接通與斷開(kāi)及馬達(dá)超負(fù)荷的維護(hù)。操作過(guò)程有顯示器，有按鈕操控，可操控馬達(dá)、防返流閥的操控閥和截流閥的操控閥，第二、三、四級(jí)的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主閥，凈化氣體向軸封處通氣用的閥門等。
　　毛病的監(jiān)控報(bào)警或泊車，體系安全主動(dòng)操控，也可按鈕操控。啟動(dòng)時(shí)，打開(kāi)凈化氣體，泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)3min，凈化氣體向各段涌入，通凈化氣體對(duì)泵性能有些影響。
　　每當(dāng)遇到緊急情況可按主動(dòng)泊車鍵，凈化氣體繼續(xù)接通，封閉進(jìn)口防返流閥，各級(jí)泵凈化1min，凈化完畢，馬達(dá)再泊車，封閉惰性氣體截止閥。