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東莞真空泵維修爪式泵的特點(diǎn)

文章出處:公司動(dòng)態(tài) 責(zé)任編輯:東莞市海揚(yáng)真空設(shè)備有限公司 發(fā)表時(shí)間:2019-11-05
  
  東莞真空泵修理爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)開(kāi)展而研制的,它有如下一些特點(diǎn):
  1、與被抽氣體觸摸的表面防腐蝕耐磨損。
  2、泵腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑劑,因而無(wú)返油現(xiàn)象發(fā)作。
  3、抽氣原件為非觸摸式的可實(shí)現(xiàn)高速工作(3000r/min)。
  4、電氣監(jiān)控與操作,主要有電源,遠(yuǎn)距離操作和開(kāi)關(guān)閥等的操控。
  5、齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤(rùn)滑,上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤(rùn)滑。
  6、在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng),少數(shù)的顆粒物和液體等在重力效果下易于掃除。
  7、該泵型式多樣,功能能夠擴(kuò)展,泵的主體,帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備,附件有進(jìn)口處防反流的閥門,出口處有截流閥,電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置。
  8、進(jìn)口防返流閥能將被抽容器與泵腔間隔,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來(lái),將泵通以凈化氣體,這些閥可主動(dòng)開(kāi)關(guān),真空體系有可靠的維護(hù),杜絕了向真空室的返流。
  9、第二、三、四級(jí)均有凈化氣體進(jìn)口,以改善被抽介質(zhì)順利經(jīng)過(guò)泵腔,無(wú)此需要的能夠不用通凈化氣體,凈化氣體用三個(gè)流量計(jì)別離調(diào)理,相互都是獨(dú)立的,以保證節(jié)約惰性氣體,利用三個(gè)電磁閥可微調(diào)其流量。
  當(dāng)泵出現(xiàn)毛病時(shí)泵能主動(dòng)泊車,兩個(gè)閥門一齊封閉或截流閥封閉。動(dòng)力和遙控有一臺(tái)變壓器和整流器,以提供所需的電流電壓,以滿足監(jiān)控過(guò)程的需要。
  動(dòng)力電源、繼電器用以對(duì)馬達(dá)的接通與斷開(kāi)及馬達(dá)超負(fù)荷的維護(hù)。操作過(guò)程有顯示器,有按鈕操控,可操控馬達(dá)、防返流閥的操控閥和截流閥的操控閥,第二、三、四級(jí)的凈化氣體的通斷閥,惰性氣體的主閥,凈化氣體向軸封處通氣用的閥門等。
  毛病的監(jiān)控報(bào)警或泊車,體系安全主動(dòng)操控,也可按鈕操控。啟動(dòng)時(shí),打開(kāi)凈化氣體,泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)3min,凈化氣體向各段涌入,通凈化氣體對(duì)泵性能有些影響。
  每當(dāng)遇到緊急情況可按主動(dòng)泊車鍵,凈化氣體繼續(xù)接通,封閉進(jìn)口防返流閥,各級(jí)泵凈化1min,凈化完畢,馬達(dá)再泊車,封閉惰性氣體截止閥。
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